购项目名称：
高温氧化炉
预算金额：
1000.********万元(人民币)
采购品目：
A********其他专用仪器仪表
采购需求概况：
1.兼容碳化硅衬底和硅衬底，晶片尺寸8″、6″、4″及不规则小片
3.最高温度≥1500℃
4.稳定工作≥1h(@1350℃)
恒温区温度精度≤±1℃，不均匀性≤±5℃（@1350℃）
预计采购：
2023-01
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况...

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联系人：刘欣
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