原子层沉积系统(JJ20230317)采购公告
日期:2023-02-21
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一、设备配置要求1.反应腔室一套,含1个外腔和2个内腔2.液态前驱体###路3.臭氧前###路4.真空系统1套5.沉积自动控制系统1套二、设备配置及参数要求*1.反应腔室结构:独立的内外嵌套双腔结构,内腔安装在外腔内;*2.外腔:真空加热腔,对整个内腔进行加热,外层设置有水冷循环装置;内侧设有多层热反射装置;*3.内腔:可拆卸内反应腔,负责工艺执行。配有2套,可整个取下更换。压差自压合机构可使内腔腔盖与内腔腔体自动压合密封;4.内腔最大可放置直径6英寸晶圆,向下兼容;*5.反应温度:最高500℃,温度控制精度±1℃;6.加热液态前###路,配置swagelok高温快速ALD阀(响应<10ms)、手动阀、50ml不锈钢源瓶,###路加热温度RT-200℃,控制精度±1℃;7.###路,配置swagelok快速ALD阀(响应<10ms)、手动阀、50ml不锈钢源瓶;8. 臭氧前###路,内置氧气源水冷式臭氧发生器系统,臭氧产量 10g/h,浓度 100mg/L9. ###路载气系统,全套swage###路+VCR密封,前###路具有在线清洗功能;10.真空系统整机极限真空<5E-3Torr,真空漏率<5E-7 Pa·L/S;*11.配置进口机械泵,额定抽速>25 m3/h;真空泵前级配置热阱,加热温度最高500℃,控制精度±1℃;12.进口压力传感器包含一个工艺薄膜规和一套全量程真空规;真空计前设有保护真空计****网以及气动隔膜阀;13.控制系统采用PLC+工控机,具有可视化的操作界面,实时显示系统各部分运行状态,可方便的调节温度、流量、脉冲等参数,编辑并保存配方参数;多用户权限分配,软硬件互锁,异常报警、紧急停机等功能确保安全性;沉积模式:连续模式、停流模式;人机界面:外挂式触摸屏,可自由选择悬停位置;14.配置冷却循环水机一台15.工艺性能要求1:在 6 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化铝,以晶圆上至少9个均匀分散点进行膜厚测试,膜厚非均匀性≤±1%为合格;16.工艺性能要求2:在 6英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化锡,以晶圆上至少9个均匀分散点进行膜厚测试,膜厚非均匀性≤±1%为合格;
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