上海交通大学反应离子刻蚀机采购项目国际招标公告

日期：2023-02-23 收藏项目

一、项目基本情况
项目名称：上海交通大学反应离子刻蚀机采购项目
预算金额：230.0000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：230.0000000 万元（人民币）
采购需求：

序号	货物名称	数量	简要技术规格	交货期
1	反应离子刻蚀机	1台	工艺气体至少包含5路：O2, Ar, CF4，CHF3，SF6； RF射频电源功率不小于300W；	签订合同后12个月内

合同履行期限：签订合同后12个月内
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。

3.本项目的特定资格要求：3.1投标人或制造商（如适用）有效的营业执照；3.2本次招标所涉及到的产品若非自主研发生产，投标人须提供制造商针对本项目的授权书；3.3参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；
三、获取招标文件