1、招标条件 项目概况:该设备主要用于刻蚀石墨烯、六方氮化硼过渡金属硫族化物等二维材料，这是加工二维器件的一个必要步骤。该设备也用于刻蚀其它材料，比如碳纳米管、石墨烯纳米带、氧化硅、硅等。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:1069-234Z20230500/03
招标项目名称:上海交通大学反应离子刻蚀机采购项目
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	反应离子刻蚀机	1台	工艺气体至少包含5路：O2,？Ar,？CF4，CHF3，SF6；RF射频电源功率不小于300W；	/

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩:3.1投标人或制造商（如适用）有效的营业执照
3.2本次招标所涉及到的产品若非自主研发生产，投标人须提供制造商针对本项目的授权书
3.3参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2023-02-23
招标文件领购结束:2023-03-02
招标文件售价:￥500/$80

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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