一、项目基本情况
项目名称：上海交通大学接触式光刻机国际招标
预算金额：340.0000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：340.0000000 万元（人民币）
采购需求：

序号	货物名称	简要技术规格	数量	交货期
1	接触式光刻机	1) 最大晶圆尺寸： 6英寸，并且向下兼容各类不同尺寸及不规则小片； 2) 分辨率：优于0.8μm（i线，光刻胶厚度1μm，真空接触，等间距图形）； 分辨率：优于3.0μm（i线，光刻胶厚度1μm，20um曝光间隙，等间距图形）； 3) 光强均匀度：优于±2.5％，其中， 在最大晶圆尺寸区域测量至少5个点，均匀性 = ± （最大值 – 最小值） / （最大值 + 最小值）； 4) 其他技术要求详见第八章第二部分《技术规格》。	1套	签订合同后10个月内

合同履行期限：签订合同后10个月内交货
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。
3.本项目的特定资格要求：1） 具有独立法人资格及独立承担民事责任的能力，在法律和财务上独立，根据商业法规合法运作；2） 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；3） 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；4） 具备可靠的售后服务能力，拥有专业技术支持人员以及硬件维修工程师负责售后服务；5） 若投标人不是投标货物的制造商，则必须提供投标货物制造商出具的针对本项目的唯一授权书；6） 投标人或投标货物制造商近3年内（2020年4月至今）须具有不少于2项同类设备的销售业绩（提供业绩清单及合同复印件）；7） 参加本次招标活动前3年内，投标人在经营活动中没有违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无行贿犯罪记录；8） 采用源自中华人民共和国关境内（不包括香港、澳门和台湾等单独关境地区）制造的产品（含由境内海关特殊监管区域内企业生产或加工（包括从境外进口材料、部件）的产品）参与投标的境内投标人，应当符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款所规定的资格条件（应在投标文件中提供《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条第一款所规定的资格证明文件）；本项目不允许联合体投标。
三、获取招标文件
：2023年04月2 至 2023年04月2，每天9:00至12:00，12:00至16:00。（北京，法定节假日除外）

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联系人：刘欣
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