一、 水平位移：
1、 传动机构：直线电机；
2、 导向机构:线性滑块导轨；
3、 行程：≥1000mm；
4、 台面尺寸： 220× 250mm；
5、 主体材料：优质铝合金，底座和导轨安装面经过精密磨削工艺和时效处理；
6、 加装进口光栅尺，可实现闭环反馈控制，闭环分辨率 1um；
7、 单向定位精度：≤10um；
8、 重复定位精度：≤±2um；
9、 理论最大加速度： ********；
10、最大速度： 1000mm/s(空载)；
11、采用进口 SP 级线性滑块导轨；
12、两侧均采用非接触式光电开关，起到减速、限位作用；
13、两侧均采用双油压缓冲器，有效阻止高速碰撞；
14、配置不锈钢防尘盖板，美观且具有优秀刚防尘功能；
15、自重约 58kg。
二、 竖直位移
1、行程：≥400mm；
2、单向定位精度：≤6um；
3、重复定位精度：≤±1um；
4、运动直线度：≤10um/200mm；
5、运动平直度：≤15um/200mm；
6、最大加速度： ≥********；
7、最大速度：≥200mm/s（空载）；
8、自重约 55kg（含配重块）

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