元(人民币)
采购品目：
A********电子工业专用生产设备
采购需求概况：
电子束光刻机，1台。主要技术指标：(1)最小线宽≤40nm（以图形转移后的工艺线宽为准）；(2)套刻精度≤50nm（平均值+3倍标准差）；(3)写场拼接精度≤50nm（平均值+3倍标准差）；(4)配备激光干涉仪定位样品台；(5)最大样品尺寸：4英寸。供货期：签订合同之日起，365个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕（...

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