称：
量子信息材料器件创制设备
预算金额：
2190.********万元(人民币)
采购品目：
A********其他真空获得及应设备
采购需求概况：
1.整体真空度要求不低于3E-10mBar，烘烤后真空可达1E-10mBar;具有可装备样品高温处理台、LEED、RHEED、离子源等的法兰端口；
2.分子束外延蒸发源：配置³6个高温热蒸发源（温度范围不小于：80~1000℃），生长速率1μm/h；同质生长源非均匀性≤********%；掺杂源非.

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联系人：刘欣
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