工中的重要设备，目前不仅服务于校内用户，还为中山大学、广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院、华****公司等校外单位提供加工服务。该电子束光刻机（EBPG)信息化自动化集成度高，一旦有部分损坏将会造成整套系统不能工作且维修昂贵，故需定期维护，以保障设备长期、稳定的运转。设备使用率极高，一旦损坏影.

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