一、 项目基本情况1.项目编号：XHTC-HW********.项目名称：射频等离子体系统3.采购方式：竞争性磋商4.预算金额：150万元5.最高限价：150万元6.采购需求：本项目拟采购1套射频等离子体系统。供应商负责产品的生产与出厂检验及包装、运输，并在采购人现场完成设备安装、调试、验收和培训等工作。主要技术指标：1）离子源类型:射频条形离子源，无灯丝，配置射频中和器或引出离子束为中性; 2）离子束出口束径:≥300mm×60m****网尺寸:300mm×60m****网;4）束流密度:50mA~500mA，连续可调;5）离子能量:50eV~1500eV，连续可调;6）长方向8英寸内的束流不均匀性:≤±5%; 7）离子源有效离化气体种类: Ar、CHF3、CF4、O2等;8）离子源束流能量与激励源:在激励源为500W时，束流需要≥700mA; 9）束流形态发散约束性:在距离250mm平面时，束流宽度方向不超过100mm，垂直方向不超过350mm;在距离500mm平面时，束流宽度方向不超过125mm，垂直方向不超过400mm。本项目交货地点：成都精密光学工程研究中心。其余具体要求详见竞争性磋商文件第四章。7.合同履行期限：合同签订生效后5个月内产品到货，合同签订生效后6个月内完成产品调试及验收。8.本项目是否接受联合体：否。二、 申请人的资格要求1.满足基本资格要求规定：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。2.落实采购政策需满足的资格要求：无。3.本项目的特定资格要求：********供应商单位及其现任法定代表人、主要负责人不得具有行贿犯罪记录；********截至本项目响应文件递交截止，通过“****网站、中****网(********)查询供应商信用记录，对列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合基本资格要求规定条件的供应商，拒绝其参与采购活动；********单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动；********其他特定资格要求：/。

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