项目名称：复旦大学高均匀性分子层沉积设备
预算金额：400.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：392.000000 万元（人民币）
采购需求：

序号/ No.	货物名称/ Name of the goods	数量/Quantity	简要技术规格 /Main Technical Data	* 交货期 / Delivery schedule
1	高均匀性分子层沉积设备采购，预算金额：人民币400万元 最高限价：人民币392万元	2套	第一套高均匀性分子层沉积设备，主要用于沉积High-K薄膜材料：Al2O3、HfO2等，沉积工艺的反应腔体最高加热温度≥350℃；第二套高均匀性分子层沉积设备，主要用于沉积导电薄膜材料：TiN等，沉积工艺的反应腔体最高加热温度≥500℃。反应腔的温度控制精度≤±2℃。	2012月3前货到复旦大学张江校区。/DPU Fudan University before 2024.12.30

合同履行期限：2012月3前货到复旦大学张江校区
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
按商务部的《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》等相关规定

3.本项目的特定资格要求：1)来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区(以下简称“合格来源国/地区”)的法人或其他组织；1) The legal persons or other organizations invited from within the People’s Republic of China (hereinafter abb. as "PRC") and all countries/areas which have regular trade relations with PRC (hereinafter called “the eligible source countries/areas”)2)投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的正式授权；2)The bidder shall be the manufacturer of the bidding products ,the agent tender must provide the cast product exclusive authorization letter issued by the producer for the project subject to tender; 3) 投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品；3) Provide bidders bidding models should be the origin of new products;
三、获取招标文件
：2023年12月0 至 2023年12月0，每天9:00至11:30，13:30至16:00。（北京，法定节假日除外）
提交投标文件截止：2023年12月2 10点00分（北京）
开标：2023年12月2 10点00分（北京）

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
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