1、招标条件
项目概况:上海临港化合物半导体4吋及6吋量产线建设项目
资金到位或资金来源落实情况:项目资金已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目名称:高性能CCP等离子刻蚀机采购
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	高性能CCP等离子刻蚀机	1台	1）产品尺寸Wafer size: 6inch2） 产品材料Wafer material: 二氧化硅(SiO2)，氮化硅(SiN)3）工作原理Working principle: 干法等离子刻蚀机详见第八章“技术规格”

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
（2） 如是代理商投标的话，投标人须获得投标货物的制造商出具的针对本项目设备的制造商授权书或者能证明投标人与制造商之间合法代理关系的证明；
（3） 投标人提供的投标货物必须为新设备；
（4） 投标人或投标货物的制造商须具备此类设备的生产或供货经验，投标人或投标货物的制造商在近 3年内至少为中国大陆地区提供过5台以上与投标产品相同或相似的设备；
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2023-12-22
招标文件领购结束:2023-12-29

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联系人：刘欣
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