1、招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购单片式化学清洗机1套、全自动去胶剥离机1套、晶圆清洗机1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0762
招标项目名称:甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	单片式化学清洗机	1套	主要用于成膜前/后清洗、刻蚀前/后清洗、离子注入前/后清洗、扩散前/后清洗、标准RCA清洗、晶圆背面清洗，并兼容非金属去胶工艺等。
2	全自动去胶剥离机	1套	主要用于微纳器件Lift-off制备工艺中，用来去除多余的光刻胶及胶上的金属，保留未被光刻胶覆盖区域的金属图形。
3	晶圆清洗机	1套	主要用于包括晶片炉管前后、化学气相沉积（CVD）前后、物理气相沉积（PVD）前后、化学机械拋光（CMP）前后，以及晶圆背部的水洗工艺，同时用于对外来晶圆的高压水洗、刷片清洁等水洗工艺。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2024-07-15
招标文件领购结束:2024-07-22
招标文件售价:￥500/$80

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联系人：刘欣
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