本招标项目双面对准投影式光刻机【重新招标】招标人为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,招标项目资金来自 国拨资金(资金来源),出资比例为 100 %。该项目已具备招标条件,现对双面对准投影式光刻机【重新招标】进行公开招标。
2.项目概况与招标范围
招标编号:0730-2
设备名称:双面对准投影式光刻机【重新招标】
数量:壹套
项目概况与招标范围:双面对准投影式光刻机
3. 投标人资格要求
3.1 招标文件简要技术要求:设备用途: 双面对准投影式光刻机通过微缩投影成像方式,把掩模版上MEMS微结构图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面,并且能够通过背对准方式实现同一晶圆的双面加工。 其他详见招标文件具体要求。
3.2资格业绩要求:(1)资质要求:投标人应具备有效的营业执照或事业单位法人证书,投标文件中提供复印件。制造商资质要求:制造商应具备有效的营业执照或事业单位法人证书,投标文件中提供复印件。(2)财务要求:投标文件中提供2022年或2023年经审计的财务审计报告(至少包含资产负债表、现金流量表、利润表和审计报告)。(3)投标人业绩:投标人提供2020年1月至今研制同类设备2套以上(含2套)的成功案例,需提供双方签署盖章的有效合同或技术协议复印件,以合同签订为准。(4)信誉要求:在经营活动中,无严重违法失信记录,具有良好的信誉。提供相关证明材料(如信用中国或各级信用信息共享平台的查询结果)或信誉承诺书。设备用途:双面对准投影式光刻机通过微缩投影成像方式,把掩模版上MEMS微结构图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复曝光在涂有胶层的硅片表面,并且能够通过背对准方式实现同一晶圆的双面加工。其他详见招标文件具体要求。
3.3 本次招标不接受联合体投标。
4. 招标文件的获取
4.1发售:2024-07-25 09:00起至2024-08-01 16:00止。
4.2 发售地点:注册后查看
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联系人:刘欣
电话:010-68809590
手机:13522553206(欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@bidnews.cn
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