1、招标条件
项目概况:甬江实验室因发展需要，需采购半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机各1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:076
招标项目名称:甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	半自动槽式SPM清洗机	1套	高温SPM工艺主要用刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗。
2	半自动槽式有机清洗设备	1套	主要用于金属刻蚀或其他器件干法刻蚀后光刻胶的去除或清洗工艺。
3	手动片盒清洗机	1套	对所使用的晶圆片盒进行定期清洗。
4	半自动槽式KOH刻蚀机	1套	常用于硅片表面V型槽刻蚀、金字塔或者倒金字塔结构刻蚀等应用。
5	半自动槽式BOE刻蚀机	1套	主要用于半导体器件制造过程中的SiO2 湿法刻蚀以及清洗工艺。

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品（半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机）的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始:2024-10-24
招标文件领购结束:2024-10-31
招标文件售价:￥500/$80

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联系人：刘欣
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