项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机各1套。
资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。
2. 招标内容:
招标项目编号:0762-
招标项目名称:甬江实验室采购半自动槽式SPM清洗机等五项设备项目
项目实施地点:中国浙江
招标产品列表(主要设备):
序号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
1 |
半自动槽式SPM清洗机 |
1套 |
高温SPM工艺主要用刻蚀以及离子注入之后的有机物清洗。 |
/ |
2 |
半自动槽式有机清洗设备 |
1套 |
主要用于金属刻蚀或其他器件干法刻蚀后光刻胶的去除或清洗工艺。 |
/ |
3 |
手动片盒清洗机 |
1套 |
对所使用的晶圆片盒进行定期清洗。 |
/ |
4 |
半自动槽式KOH刻蚀机 |
1套 |
常用于硅片表面V型槽刻蚀、金字塔或者倒金字塔结构刻蚀等应用。 |
/ |
5 |
半自动槽式BOE刻蚀机 |
1套 |
主要用于半导体器件制造过程中的SiO2 湿法刻蚀以及清洗工艺。 |
/ |
*备注:投标人必须对表中所有货物进行投标,否则作无效标处理。
3. 投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品(半自动槽式SPM清洗机、半自动槽式有机清洗设备、手动片盒清洗机、半自动槽式KOH刻蚀机、半自动槽式BOE刻蚀机)的制造商或投标产品的制造商授权的代理商,如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书;
是否接受联合体投标:不接受;
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以。
4. 招标文件的获取
招标文件领购开始:20
10月2
招标文件领购结束:20
10月3
本招标项目仅供正式会员查阅,您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录,联系工作人员办理入网升级。
联系人:刘欣
电话:010-68809590
手机:13522553206(欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@bidnews.cn
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