项目名称：东南大学材料科学与工程学院晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统采购

预算金额：800.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：800.000000 万元（人民币）

采购需求：

项目地点：东南大学九龙湖校区

项目概况：材料科学与工程学院采购晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统1套，主要技术参数：

晶圆级直立式低维材料制备及原位调控系统

一、材料制备系统

（一）电阻加热部分（A&B腔）

1.反应腔室系统

（1）包含三段式立式电炉×2组；3温区独立加热，每个区段设一个温控热电偶；

（2）三区电阻加热，最大加热功率4.5KW；电阻炉最高温度：1050℃；

（3）温度范围：RT～900℃@衬底表面。

2.前驱体系统、进气气路系统

（1）前驱体系统包含2组金属有机源瓶（W、Mo）及2组非金属有机源瓶（S、Se）（不含原料），并配备独立水浴用于控制有机源挥发温度，0-60 ℃范围内可调；气体管路需有保温保护层，防止前驱体在管壁冷凝沉积；

（2）进气气路系统包含1组高纯载气Ar，1组高纯载气p，及1组Ar/pS高纯反应气体；以上气体及前驱体均可通过质量流量计、电磁阀门及程序控制通入两个反应腔体中；

（3）最大工艺气体流量：10～15slm；

（4）最大允许氦检漏率：5×10 - 8 mbar*l/s。

（二）电感加热部分（C&D腔）

1.反应腔室系统

（1）包含2台中频感应加热电源及感应线圈；

（2）腔体内最大加热温度：约1000℃；

（3）温度范围：RT～约900℃@衬底表面；

2.前驱体系统、进气气路系统

（1）前驱体系统包含2组金属有机源瓶及2组非金属有机源瓶（不含原料），并配备独立水浴用于控制有机源挥发温度；

（2）进气气路系统包含1 组高纯载气Ar，1 组高纯载气p，及1组Ar/pS高纯反应气体；以上气体及前驱体均可通过质量流量计、电磁阀门及程序控制通入两个反应腔体中；

（3）最大工艺气体流量：10～15slm；

（4）最大允许氦检漏率：5×10-8 mbar*l/s。

本项目不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

合同履行期限：合同签订后12个月内交货并验收合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：3.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2023年度的财务报告，或投标截止前六个月内银行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无3.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：无。3.4第3.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。3.5 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。3.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

三、获取招标文件

：2010月2  至 2011月0，每天9:00至11:30，14:00至17:30。（北京，法定节假日除外）

本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请联系办理会员入网事宜，成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：刘欣
电话：010-56240287
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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