预算金额：450.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：450.000000 万元（人民币）

采购需求：

项目地点： 东南大学无锡校区

项目概况：微纳平台采购TSV-ALE集成刻蚀系统1套，主要技术要求如下 ：

（ 一 ） 工艺腔室配置

1. 反应腔室独立模块化设计，方便维护与保养

2. 作业温度范围可覆盖-20~90 ℃，温度控制±0.5 ℃，可实现深硅刻蚀工艺，可实现GaN、GaAs等多种半导体材料可控原子层刻蚀工艺

3. 传送模块配备高精度晶圆位置传感器，可兼容6/8寸晶圆

（ 二 ） 供气与真空系统

1. 配备高速响应MFC，响应速度<50 ms，实现精准控制短脉冲式刻蚀工艺中的工艺气体通入流量与时长

2. 机械泵抽速不小于600 m 3 /h，配备分子泵，腔室极限压力小于4×10 -6 Torr，真空漏率小于2 mTorr/min

3. 配备高精度压力传感器，可实时检测腔室压力，检测范围覆盖0~10 Torr

（ 三 ） 射频等离子体系统

配置高功率脉冲射频电源，频率可调；最大功率不低于2000W，最小功率不高于5 W，调节分辨率优于0.1 W；配备偏压Bias射频源，最大功率不小于1000W，最小功率不高于5 W，调节分辨率优于0.1 W 。

不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

行业划分：工业

本项 目 (非专门)面向中小企业采购。

本项目(非专门)面向监狱企业来购。

本项 目 (非专门)面向残疾人福利性单位采购。

合同履行期限：合同签订后90天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）；

（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2023年度的财务报告，或投标截止前六个月内银行出具的资信证明）；

（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；

（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：1提供缴纳税收的凭证；2提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳清单）），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；

（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；

（6）法律、行政法规规定的其他条件：无

2.2落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 。

2.3 采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明： 无。

2.4 第2.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。

2.5 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。

2.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。

为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。

2.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单 及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商 参与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

3.本项目的特定资格要求：无。

三、获取招标文件

：2010月3  至 2011月0，每天9:00至12:00，12:00至17:30。（北京，法定节假日除外）

本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息,请联系办理会员入网事宜，成为正式会员后可下载详细的招标公告、报名表格、项目附件和部分项目招标文件等。
联系人：刘欣
电话：010-56240287
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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