一、项目基本情况 项目编号：JC2******** 项目名称：东南大###路学院12寸等离子增强气相沉积采购项目 预算金额：1650.******** 万元（人民币） 最高限价（如有）：1650.******** 万元（人民币） 采购需求： 项目地点： 东南大学无锡校区 项目概况： ###路学院采购12寸等离子增强气相沉积1套，主要技术要求如下: 1.设备功能：实现直径12寸及以下尺寸晶圆表面的薄膜沉积，包括SiOx、SiCN、SiCOH等类型薄膜的沉积。 2.含有设备前端模块（EFEM)一套，其内部配备有全自动机械手用于取放晶圆，外围有高效过滤器（FFU)控制空气洁净度，有3个晶圆盒承载台和6个冷却平台。 3.含有工艺腔体（PM）不少于3个，各自含有1套独立完整的射频电源、进出气系统、真空控制系统和真空泵系统，均可独立加工直径为12寸及以下尺寸的晶圆。 4. 三个PM可分别实现化学组分为SiCOH、SiCN、SiO的薄膜沉积。每个PM各自配备一个专用的液态前驱体输送系统。 5. 12寸晶圆内完成SiCOH薄膜沉积后，晶圆表面全部面积范围内直径为******** μm以上的颗粒数量不超过20个。 6. 在12寸晶圆上沉积SiO薄膜，最大厚度可超过50 μm，薄膜完整无缺陷，无开裂、脱层等缺陷。 本项目不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。 合同履行期限：合同签订后8个月内设备安装调试合格。 本项目( 不接受  )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求： 无 3.本项目的特定资格要求：********满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）； （2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2023年度的财务报告，或投标截止前六个月内银行出具的资信证明）；（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：提供缴纳税收的凭证；提供缴纳社会保险的凭据），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；（6）法律、行政法规规定的其他条件：无********落实政府采购政策需满足的资格要求：无 ********采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：无。********第********（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。******** 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。********单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。********拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参与政府采购活动。采购人或者采购**在进行资格审查的同时，依法通过“中****网”、“****网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

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