一、项目概况：货物名称：ICP刻蚀机；数    量：1台；资金来源：国拨资金+自筹资金；资金落实情况：已落实；实施地点：采购人指定项目地址；简要技术要求：第八章 货物需求一览表及技术规格 二、工艺技术指标要求：*1.等离子源功率≥1400W；*2.刻蚀速率：********μm～2μm/min；*3.刻蚀均匀性：片内≤3%；*4.深宽比：＞5:1；*5.氧化硅选择比：＞10:1；*6.刻蚀材料：硅；*7.支持的晶圆尺寸：6英寸；*8.刻蚀均匀性：片间、批间≤3%；*9.配置多边形传送系统平台，该平台支持扩展至少三个工艺腔体；*10.配置静电吸盘；二、投标人资格要求：（1）在中华人民共和国境内注册具有独立法人资格的投标人，需提供有效的企业法人营业执照副本或事业单位法人证书的复印件，所提供资质文件必须处于有效期内；境外投标人应提供在境外当地有效的注册登记证明材料；（2）如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的有效授权书，授权书接受以下两种形式之一：①制造商原厂授权；②制造商在****公司或者一级代理商对投标人进行授权（须提供制造商与在****公司或者一级代理商关系的证明文件）；（3）投标人提供售后服务承诺书；（4）本项目不接受联合体投标；（5）未领购招标文件不可以参加投标。

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