复旦大学电子束光刻系统机台采购项目招标公告

日期：2024-11-21 收藏项目

一、项目基本情况

项目名称：电子束光刻系统机台采购项目

预算金额：1000.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：1000.000000 万元（人民币）

采购需求：

包件号	01
采购货物	电子束光刻系统机台
数量	1套
用途和主要规格参数	1.单束电子束的曝光分辨率 ≤10nm@30 kV； 2.单束电子束束流大小调节范围至少包括0.01 nA至350 nA； 3.加速电压调节范围至少包括0.1 kV～30 kV可调； 4.支持样品尺寸≥4 英寸； 5.可设定写场范围至少支持在以下范围内可调：0.5 μm×0.5 μm～1 mm×1 mm； 6.配备五维（XYZ方向+旋转+倾斜）纳米步进运动台，步进精度≤1 nm； 7.纳米步进运动台移动范围至少包括-60 mm～+60 mm，最大运动速度可达20 mm/s或更优； 8.样品腔室真空度≤2.0×10 -4 Pa；电子枪腔室真空度≤2.0×10 -7 Pa； 9.配备20路可同时输出直流稳压驱动电源：输出电压至少包括0 ～±30 kV连续可调，纹波电压小于最大额定输出电压的10ppm； 10.图形发生装置：（1）配备12通道图形编解码器、数据收集和控制系统，扫描频率不低于25 MHz；（2）图形发生装置：可用于像素自由选址的频率不低于25 MHz，支持修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变； 11.电子光学镜筒：满足内径大于等于10 mm，支持多电子束曝光功能拓展。
预算金额	人民币1000万元
最高限价	人民币1000万元
合同履约期限	2025年6月3前完成交付
交货地点	复旦大学新建江湾校区
本项目是否专门面向中小微型企业采购	本项目不属于专门面向中小微企业采购的项目
中小微型企业划分标准所属行业	工业
其他	本项目仅接受国产产品投标，不接受进口产品投标

合同履行期限：2025年6月3前完成交付

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本次招标执行政府强制或优先采购节能和环境标志产品、促进中小微型企业、促进残疾人就业、支持监狱和戒毒企业、扶持不发达地区和少数民族地区、支持科学进步以及限制采购进口产品等相关政策。

3.本项目的特定资格要求：1、符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条第一款的规定。为此，投标人应按《中华人民共和国政府采购法实施条例》第十七条第一款的规定在投标文件中提供下列证明材料：（a）法人或者其他组织的营业执照等证明文件，自然人的身份证明；（b）财务状况报告、依法缴纳税收和社会保障资金的相关材料或声明函；（c）具备履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料；（d）参加政府采购活动前三年（2021年11月至今，以下简称“近三年”或“前三年”）内在经营活动中没有重大违法记录的书面声明。2、近三年未被国家财政部指定的“信用中国”网站等官方渠道列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信名单。3、法人的分支机构以自己的名义参与投标时，应提供由法人出具的对本投标活动承担全部直接责任的承诺。4、本项目不接受联合体投标。5、单位负责人为同一人或者存在直接控股或管理关系的不同单位，不得参加同一包件的投标或者未划分包件的同一招标项目的投标。6、投标人应未曾为采购人在本招标合同项下拟采购的货物提供设计、编制采购需求或者提供项目管理、监理、检测等服务。

三、获取招标文件

：2011月2 至 2011月2，每天9:00至12:00，12:00至17:00。（北京，法定节假日除外）

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
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