现对巨量转移侧边磁控溅射成膜机进行公开招标。2.项目概况与招标范围项目概况与招标范围：巨量转移侧边磁控溅射成膜机  1台招标编号：0730-244********0-05包名称： 巨量转移侧边磁控溅射成膜机数量：1台简要技术要求：（1）本装置用于Micro-LED制程，进行物理气相沉积工艺；（2）基板尺寸：5寸~********寸；基板厚度：********~********

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