序号

仪器名称

技术参数

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化学气相沉积薄膜炉

★1、设备外形尺寸: 2300 长*700 宽*1380mm 高，尺寸偏差可在±5%区间内2、组成部分：滑轨炉、真空系统、供气系统、射频电源四部分组成3、滑轨炉3.1电源：≤AC220V/50HZ 3.2功率：≤3.0KW3.3加热区长度：≤200mm*2★3.4最高温度：1200 度 (≤30min） 3.5工作温度：≤1100 度3.6热电偶：K 型3.7智能化仪表，PID 控制，30 段程序控温 3.8炉体可滑动位移：≤600mm3.9 炉管尺寸：≤ φ80* 1400mm3.10标配一套不锈钢真空法兰3.11进气端法兰上安装了一个机械压力表用于观察炉管内的压力，压 力表范围-0.1-0.15MPa；一个φ6.35 的卡套接头作为进气口使用，并 通过一个不锈钢针阀控制进气的通断3.12出气端法兰包含一个≤φ8mm 宝塔气嘴的出气口，并通过一个不锈钢 针阀控制出气的通断。一个 KF25 接口为抽真空接口，用于连接真空 系统。一个 KF16 的接口用于连接电阻真空计。4、真空系统4.1电源：≤AC220V/50Hz · 功率：≤0.55KW4.2极限真空度：5.0* 10-1Pa（无负载）4.3抽气速率：≤3L/s4.4抽气口：KF25 接口4.5可选配真空度更高的系统5、供气系统★5.1质量流量控制器：100SCCM 、200SCCM 、200SCCM 、500SCCM · 量程可以选配5.2精度： ±1.5%FS5.3最大压力：≤0.3MPa5.4内部连接 1/4 英寸不锈钢和聚四氟管 · 内置不锈钢混气罐 6、射频电源6.1功率输出范围：0-500W ★6.2 功率稳定度： ≤±5W 6.3 射频频率：13.56MHZ6.4自动匹配★6.5噪音： ≤50dB6.6冷却方式：风冷

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扫描电化学显微镜

1、高分辨三维定位及表面成像处理★2、步进电机加闭环压电晶体XYZ分辨率：≤1.6nm 3、XYZ移动距离：≥50 mm4、最大电流：±250 mA 连续（两个通道电流之和）, ±350 mA 峰值5、槽压：±13 V★6、电位范围：±10 V7、自动和手动IR降补偿★8、适用于测量CV、LSV、CA、I-t 。且CV和LSV扫描速度： 0.000001V/s 至 10,000 V/s，双通道同步扫描及采样至10,000 V/s扫描时的电位增量：0.1 mV （当扫速为 1,000 V/s时）。CA的最小采样间隔： 1 ms， 双通道同步。i-t 的最小采样间隔： 1 ms， 双通道同步。9、串行口或USB口通讯10.、电解池控制：通氮,搅拌,敲击（需要特殊电解池系统）

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氮气吸脱附分析仪

1、使用条件1.1工作温度：10 ℃ ～ 30 ℃；相对湿度：≤85%；2.1钢瓶不得靠近热源、明火，存放在阴凉、干燥处，禁止碰撞与敲击，保持油漆标志完好；钢瓶必须使用固定装置进行固定，以防倾倒；3.1室内应整洁无烟粉尘，周围没有机械振动源或电磁干扰源；4.1电源为交流≤220 V 50 Hz，功率不小于400 VA；5.1仪器尺寸746mm*600mm *900mm；尺寸误差可在±5%区间内 2、技术要求2.1功能描述：2.1.1比表面及孔径分析仪具体功能如下：吸脱附等温线；BET比表面积、Langmuir比表面积、外比表面积（STSA）测定；真密度测定；BJH介孔大孔孔容积及孔径分布分析；t-plot法、DR/DA、MP法、HK、SF微孔孔容积及孔径分布分析以及NLDFT全孔孔径分析；可用于N2、Ar、Kr、CO2等气体的吸附测试，PCT等温线测定，吸放氢平台测定，吸脱附动力学测定，实验内吸脱附可实现自动变温，实验内可实现冷或热管体积自动标定2.2主要技术参数2.2.1测定范围：比表面积：0.0005(m2/g)及以上；微孔孔径分布分析：0.35 nm-2 nm；介孔或大孔：2 nm-500 nm；总孔体积：0.0001 cc/g--至无上限 2.2.2测量精度：比表面积重复精度≤± 1.0%，最可几孔径重复偏差≤0.02 nm★2.2.3测试数量：不少于2个分析站（交替测试）和3个预处理站，分析和预处理可以同时进行2.2.4分压比P/P0：10-7～0.9982.2.5测试模式：支持“单一氮气测试模式”和“氮气+氦气标准测试模 ”两种模式★2.2.6真空泵：双级机械泵+分子泵，机械泵极限真空度：≤0.067 Pa， 机械泵可置于仪器内也可以置于仪器外；分子泵极限真空度10-8 Pa，分子泵使用CF接口连接★2.2.7真空系统：全不锈钢微焊真空管路系统，真空管路采用全金属 VCR连接，内壁电抛光处理，配套气动阀，最大限度减小管路死体积空间，可长维持高真空度，真空漏气率可达1x10-10 (Pa*m3/s)2.2.8压力传感器：进口高精度硅薄膜压力传感器，配套3 Bar、1 Torr和0.1 Torr分级量程压力传感器，可自动根据不同压力范围切换对应量程压力传感器★2.2.9压力读取：所有量程的压力传感器均采用RS485或RS232通讯读取压力值，数字量采集，减少模数转换带来的读数误差★2.2.10分析站：2个分析口浸在同一个液氮杯中，提供平行实验的最佳条件；所有分析口均可用于微孔分析和介孔分析2.2.11预处理站：设备自带不少于3个预处理站，可以同时进行3个样品预处理；且2个分析口支持原位预处理；控温范围：室温~400 ℃，控温精度：±0.1 ℃；可以通过控制软件进行升温控制，升温过程可以按需设置超过10个阶段以上2.2.12P0管：独立的不锈钢P0管★2.2.13液位控制系统：精准的液氮伺服系统，由温度传感器控制液氮面，脉冲式控制滚珠丝杠电机精准升降，保证液氮面在测试过程紧贴温度传感器末端，冷体积全程不变；不接受等温夹套的冷体积修正方式2.2.14防护措施：透明塑料安全门，既保护实验人员的安全又防止人为误碰撞液氮杯2.2.15液氮杯：≥4升大容量不锈钢内胆杜瓦瓶，可连续进行不少于72小时测试★2.2.16操控系统：可编程嵌入式系统，不小于10寸触摸屏操作，并可 USB 外接键盘和鼠标操作，可直接安装控制软件，不需要额外配置电脑★2.2.17操作控制软件：兼容市场主流操作软件控制和数据处理软件，试验过程中压力和温度可实时显示，随时查看当前测试进展；试验详细过程日志全记录

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真空手套箱

1、箱体1.1、内部尺寸≥1800*750*900mm。 1．2、不锈钢材料搁物架，内置≥3层，可调节。1.3、手套口：原色氧化，螺母在外面，O型圈密封。1.4、箱体照明：LED灯，安装在每块玻璃窗前上方，具有漫反射功能。★1.5.手套箱视窗整体法兰设计，法兰整体厚度为≥20mm，真空O形圈密封，边框为蓝色，提供实物图片；2、大过渡仓 2.1、有效尺寸≤360*600mm，内外大仓盖蓝色，大仓印字红色，引起警觉作用。2.2、内外仓门可以手动操作也可自动操作。3、小过渡舱 3.1、尺寸≥150*300mm，内外仓盖为蓝色，数量根据客户实验方向而定。3.2、采用门把手结构设计，不接受杠杆式，以免经常卡死。4、气体净化循环系统 4.1、净化能力：除氧≥60L；除水≥2Kg；水氧指标≤1ppm。 ★4.2、集成风机流量≥90m3/h，加装变频器。★4.3、阀：采用集成阀座，不接受单通道阀，漏点太多，提供实物图片。4．4、泄露率小于0.001vol%/h。5、显示系统★5.1、工作压力+/-15mbar内可以自由设定，超出+/-16mbar系统自动保护；6、真空系统控制真空泵，旋片泵，带油雾过滤器，可手动或通过PLC启动，可对过渡舱抽真空；★7、水分析仪测量范围为0～500ppm，精度为≤0.01ppm，采用P2O5传感器，应用范围广，可以进行清洗并重复使用。★8、氧分析仪 测量范围为0～1000ppm，精度为≤0.01ppm，采用ZrO2传感器，避免了燃料电池寿命短。9、箱内有机溶剂吸附器放置箱内，尺寸：直径≤136mm,高度≤256mm，填充≥2kg活性炭，可快速更换材料，并且不破坏高纯气氛。