1.1项目编号：JC20

1.2项目名称：东南大学集成电路学院高温化学气相沉积外延炉采购项目

1.3预算金额：600万元

1.4最高限价：600万元

1.5采购需求：

项目地点：东南大学无锡校区

项目概况：集成电路学院采购高温化学气相沉积外延炉1套，主要技术要求如下:

(1) 高温化学气相沉积外延炉一台，需同时实现N型碳化硅外延生长和P型碳化硅外延生长及其他气相沉积工艺；采用单腔传片的水平式或垂直式结构；允许最大晶圆尺寸6英寸，并可向下兼容4寸整晶圆；

(2) 工艺反应气体包括C2p/C3H8、SiHCI3，工艺载气p，掺杂源包括N2和TMAI；

(3) 设备需同时具备N型和P型碳化硅外延生长能力，并且提供N型碳化硅外延生长相关的腔体及配件，和P型碳化硅外延生长相关的腔体及配件，以及按照至少6000um的外延生长厚度备件；

(4) 需将设备搬运至指定地点，完成卸货、搬入实验室，并且提供设备在二次配过程中的必需物件及调试设备，所有二次配费用包含在总报价中。

不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。

1.6合同履行期限：合同签订后9个月设备安装调试合格。

1.7行业划分：工业

1.8 本项目(非专门)面向中小企业采购。

1.9 本项目(非专门)面向监狱企业来购。

1.10 本项目 (非专门)面向残疾人福利性单位采购。

1.11 本项目不接受联合体投标。

二、申请人的资格要求

2.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）；

（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度（提供2023年度的财务报告，或投标截止前六个月内银行出具的资信证明）；

（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；

（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：1提供缴纳税收的凭证；2提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳清单）），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；

（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；

（6）法律、行政法规规定的其他条件：无

2.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无。

2.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：无。

2.4第2.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。

2.5 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。

2.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。

为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。

2.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参与政府采购活动。采购人或者采购代理机构在进行资格审查的同时，依法通过“中国政府采购网”、“信用中国”网站等渠道查询投标人信用记录并保存。

三、获取招标文件

3.1：2012月2至2025年1月17:30。（北京，法定节假日除外）

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联系人：刘欣
电话：010-68809590
手机：13522553206（欢迎拨打手机/微信同号）
邮箱：kefu@bidnews.cn

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