泵技术指标满足下列要求，★1.数量3套；★2.极限真空度:≤********´10-6Pa;★3.抽速(10-4Pa~10-6Pa):对N2≥1300L/s，对H2≥1000L/s，对He≥480L/s;★4.压缩比:对N2>********´109，对H2>********´103，对 He>********´104;★5.额定转速:********rpm/min;6.冷却方式:水冷；7.启动:10万小时;9.泵体与控制器选用分体式(泵体不带控制部分)，泵体与.

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