一、项目基本情况原公告的采购项目编号：SZCG********原公告的采购项目名称：深圳大学有机-金属真空热蒸镀仪采购首次公告日期：2025年04月0二、更正信息更正事项：采购文件更正内容： 序号 招标文件对应位置 更正前 更正后 1 第三章 用户需求书 四、技术要求 ********样品架系统 ★********可容纳数量大于或等于4个，尺寸大于或等于32mm*32mm的蒸镀基片。 ********样品架系统 ★********可容纳数量大于或等于4个，尺寸大于或等于32mm*32mm的蒸镀基片，膜厚均匀性误差≤±2% ********蒸发沉积系统 ★******** 蒸发沉积系统≥16组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有隔板，防止源与源之间的污染和温度影响； ********蒸发沉积系统 ★******** 蒸发沉积系统≥16组蒸发源，每个源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有隔板，防止源与源之间的污染和温度影响； ▲********石英晶振探头≥5个，采用的膜厚仪可同时显示≥5个膜厚探头的读数 ▲********石英晶振探头≥5个，采用的膜厚仪可同时显示≥5个膜厚探头的读数，速率稳定性误差≤±2% ★********极限真空度≤4*10-5Pa ★********极限真空度≤*********10-5Pa ▲********从101Kpa到5×10-4Pa≤20min（充氮气保护，从手套箱内操作）。 ▲********从101Kpa到3×10-4Pa≤10min（充氮气保护，从手套箱内操作）。 ********手套箱系统 ★********可得气体纯度：水≤1ppm，氧≤1ppm，泄露率≤********%/h。 ********手套箱系统 ********箱体材料：304 不锈钢，厚度≥3mm；设备尺寸：长度≥5600mm，深度≥750mm，高度≥900mm。 ********可拆卸的钢化玻璃视窗，钢化玻璃厚度≥8mm，视窗与箱体之间的密封使用双层密封。 ******** 3  ≥12个丁基橡胶手套，铝合金手套口（由实心棒材加工而成，原色氧化） ********  ≥3套箱体照明，具备自动开关功能 ********过渡仓，可拆卸，尺寸：直径≥Φ370mm，长度≥600mm，通过在触摸屏上点触启动按键，过渡舱可自动完成多次抽充程序。 ******** ≥3个小过渡仓，焊接在箱体上，尺寸：直径≤Φ150mm，长度300mm，小过渡舱门杠杆密封，不接受卡扣按压式小仓门。 ********气体纯化柱：≥4个纯化柱 ********  ≥4个显示系统，安装在箱体上 ********循环方式：循环根据设定指标，自动开启和关闭。 ******** 10百级除尘系统：≥1个，除尘系统上装有空调，控制箱体内温度。 ********泄露率≤********%/h ********  H2O≤1ppm ，O2≤1ppm ********氧分析仪：燃料电池，量程范围：包含0-1000ppm，精度≤********。 ********水分析仪：量程范围：包含-100至20露点，屏幕上面ppm和露点自由切换。 2 第三章 用户需求书 五、商务要求 ★******** 交货： 从中华人民共和国关境内提供的货物：签订合同后  90  天（日历日）内。 ★******** 交货： 从中华人民共和国关境内提供的货物：签订合同后  30 天（日历日）内。 3 评标信息 技术要求偏离情况 （一）评分内容：投标人应如实填写《技术要求偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣10分，一般参数每负偏离一条扣5分，扣完为止。 （一）评分内容：投标人应如实填写《技术要求偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，所有标注“▲”的重要参数每项负偏离一扣12分，一般参数每负偏离一条扣2分，扣完为止。 招标文件技术要求偏离表以及商务要求偏离表已对应修改，以更正后的招标文件为准。更正日期：2025年04月1

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